3.6.3　パラメータ抽出

	定義のある用語	紹介だけの用語
(1) デバイスシミュレーション	デバイスシミュレーション	ドーピング密度プロファイル
		DC・AC・過渡解析
(2) 配線寄生素子	配線寄生素子	導体層
	Field Solver	抵抗
	パターンマッチング手法	容量
		インダクタンス
		有限要素法（Finite Element Method；FEM）
		EDAツール
		テクノロジライブラリ
(3) 製造ばらつき	製造ばらつき	不純物濃度分布
	ランダムばらつき	ポアソン分布
	システマティックばらつき	パーティクル
	ローカルばらつき（OCV：On Chip Variation）	パターン不良
	グローバルばらつき	統計データ
	製造容易化設計（DFM：Design For　Manufacturability）	統計モデル
		リソグラフィ
		近接効果（Optical Proximity）
		化学的機械研磨（CMP：Chemical mechanical Polishing）
		回路パラメータ
		歩留まり（Yield）
		統計的モデル