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S2群1編 デバイスの微細化限界とその物理
編主任 平本俊郎(東大)
編幹事 遠藤和彦(産総研)


1章 半導体のスケーリング

石内秀美(東芝)







小林正治(東大)

松川 貴(産総研)

渡邉孝信(早大)

竹内 潔(東大)



鈴木英一(JST)

齋藤真澄(東芝)

手塚 勉(東芝)

森田行則(産総研)

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