浅野 種正

(あさの たねまさ)


1979年 東京工業大学大学院電子デバイス専攻修士課程了.
1985年 工学博士.
現在,九州大学大学院システム情報科学研究院 教授.
シリコンデバイス・プロセス技術,TFTの研究に従事.

執筆箇所:

  ・10群2編 集積回路製造技術