小谷 光司

(こたに こうじ)


1993年 東北大学大学院工学研究科博士後期課程了.
博士(工学).
現在,同大学同研究科准教授(電子工学専攻).シリコン半導体デバイス,集積回路技術に興味.
近年,高性能TFTデバイスや3次元集積化の研究に従事.

執筆箇所:

  ・10群3編 システムオンチップ技術