尾張 真則

(おわり まさのり)


1983年 東大大学院工学系研究科博士課程了.工博.
現在,同大学環境安全研究センター・教授(生産技術研究所兼務).材料微小領域分析の手法開発に興味.近年,収束イオンビーム二次イオン質量分析法や三次元アトムプローブ分析法の実用化研究に従事.

執筆箇所:

  ・S2群4編 ナノ加工・計測技術