三村 秀和

(みむら ひでかず)


2002年 大阪大学大学院工学研究科博士課程修了.
博士(工学).
現在,東京大学大学院工学系研究科精密工学専攻准教授.
精密加工,計測の研究に従事.

執筆箇所:

  ・S2群4編 ナノ加工・計測技術