柳沢 淳一

(やなぎさわ じゅんいち)


1991年 大阪大学大学院基礎工学研究科博士後期課程修了.
工学博士.
現在,滋賀県立大学工学部教授(電子システム工学科).
主に,イオンビームによる半導体などの超微細加工プロセスの研究に従事.

執筆箇所:

  ・9群3編 半導体