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10群8編　集積化センサとマイクロマシン

編主任 鈴木健一郎（立命館大）
編幹事 木股雅章（立命館大）
鈴木美彦（株式会社ニコン）
池原 毅（産総研）
全体概要

1章 MEMS技術の基礎
鈴木健一郎（立命館大）

2章 圧力センサ
池原 毅（産総研）

概要

2-1 圧力の計測

2-2 受圧構造

2-3 変形検出の方法

2-4 パッケージング

2-5 圧力センサの設計

2-6 圧力センサの応用

2-7 最近の研究動向

3章 MEMS加速度センサ
鈴木健一郎（立命館大）

概要

3-1 はじめに

3-2 サイズモ系（強制外力荷重の場合の機械モデル）

3-3 加速度センサ

3-4 変位計測

3-5 加速度センサの例

3-6 まとめ

　補遺3-A 機械システムと電気回路の相似関係

　3章演習問題

4章 MEMSジャイロスコープ
鈴木健一郎（立命館大）

概要

4-1 はじめに

4-2 ダブルジンバルモデル

4-3 振動型ジャイロスコープの動作原理

4-4 検出回路

4-5 MEMSジャイロの例

4-6 高感度化のためのデバイス構造設計

4-7 周波数安定度

4-8 まとめ

　補遺4-A 回転の角速度が時間変化する場合の検出系の変位

　4章演習問題

5章 MEMS共振器
鈴木健一郎（立命館大）

概要

5-1 はじめに

5-2 静電型共振器の一般表現

5-3 振動モード

5-4 BVD（Butterworth-Van Dyke）モデル

5-5 共振周波数

5-6 狭ギャップ効果

5-7 80 MHzねじり振動MEMS共振器

5-8 検出回路

5-9 Q値

5-10 まとめ

　補遺5-A 基準振動モードを利用した振動解析（ラグランジュ方程式からの導出）

　補遺5-B BVD等価電気回路の周波数依存性

　5章演習問題

6章 高周波回路の基礎
鈴木健一郎（立命館大）

概要

6-1 はじめに

6-2 線路パラメータ

6-3 伝送線路を伝搬する電流と電圧

6-4 入力インピーダンス

6-5 インピーダンス整合

6-6 スタブ回路

6-7 散乱行列

6-8 まとめ

　補遺6-A TEM波の伝搬

　6章演習問題

7章 MEMSスイッチ
鈴木健一郎（立命館大）

概要

7-1 はじめに

7-2 設計理論

7-3 MEMSスイッチの特性

7-4 誘電体薄膜の電荷蓄積

7-5 大電力

7-6 まとめ

　補遺7-A スイッチを接続したときの伝送線路のSパラメータ

　補遺7-B 並列接続静電容量型スイッチを接続したときの伝送線路のRF電圧

　7章演習問題

8章 移相器とアンテナ
鈴木健一郎（立命館大）

概要

8-1 はじめに

8-2 移相器

8-3 アンテナ

8-4 まとめ

　補遺8-A 無損失Loaded-line 移相器

　8章演習問題

9章 むすび
池原 毅（産総研）




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