10群2編 集積回路製造技術

編主任 大見俊一郎(東工大)
編幹事 寺本章伸(東北大)
梅田浩司(ルネサスエレクトロニクス)
大見俊一郎(東工大)


大見俊一郎(東工大)

大見忠弘(東北大)

大見忠弘(東北大)


梅田浩司(ルネサスエレクトロニクス)

冬木 隆(奈良先端大)

原田博文(シルトロニック・ジャパン)

2-3 結晶評価技術


寺本章伸(東北大)

森田博志(栗田工業)

3-2 薄膜成膜技術

宮本恭幸(東工大)

浅野種正(九大)

3-5 不純物拡散技術

三瀬信行(日立)

吉川公麿(広島大)


梅田浩司(ルネサスエレクトロニクス)

猪川 洋(静岡大)

西岡泰城(日大)

4-3 コンタクト形成技術

上野和良(芝浦工大)

鈴木 繁(パナソニック)

春田 亮(ルネサステクノロジ)

大村泰久(関西大)

横川慎二(NECエレクトロニクス)


寺本章伸(東北大)

若山恵英(大成建設)

今岡孝之(オルガノ)

石原良夫(大陽日酸)

二井啓一(ステラケミファ)

木場裕介(日立アプライアンス)




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